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Rohr-/Leitungsbeheizungen 

Gasförderung-/transport

Tetraethylorthosilikat (TEOS), Bortrichlorid (BCl3), Aluminiumchlorid (AlCl3), Chlortrifluorid (ClF3) und Dichlorosilan (DCS) sind Gase, die aufgrund einer Phasenverschiebung bei niedrigen Temperaturen kondensieren oder verflüssigen. In Halbleiterprozessen tritt die Kondensation in der Gasleitung auf und sammelt sich im Brausekopf vor der Einspritzung in die Vakuumkammer. Es tritt eine bedeutende Menge von Wafer-Defekten auf, wenn verflüssigte Gase in die Vakuumkammer eingespritzt werden. Gleichmäßiges Beheizen der Leitungen verhindert Kondensation. Abhängig vom Druck und der Fließgeschwindigkeit werden TEOS-Leitungen normalerweise auf über 90 °C (194 °F) aufgeheizt und BCl3 auf über 30 °C (86 °F). Die optimale Leitungstemperatur variiert je nach den Prozessparametern.

Technische Daten:

Mantelmaterial Maximale Betriebstemperatur Maximale Wattdichte
°F °C W/in2 W/cm2
Silikon  392 200 2.5 0.39
  • Wattdichte von 0,4 W/cm2 (2,5 W/in2) auf Gasleitungs-Außendurchmesser
  • UL® anerkannt für Sicherheitsstandards in denUSAund Kanada
  • Heizelemente und Isolierungen erfüllen UL94-HB Entzündbarkeitsanforderungen
  • Isolierte gerade Einfüllstutzen für 100 Prozent Auffüllung; Winkel und T-Stü
  • Erhältliche Innendurchmesser: 6, 9,5, 13, 19 mm (1⁄4, 3⁄8, 1⁄2, 3⁄
  • 120 V Standard, andere Spannungen erhältlich
  • Kleine Metallverschlüsse
  • 9,5 mm (3⁄8 Zoll) Wand, Silikongummi, Schaumstoffschwamm

Anwendungen:

  • Gasförderrohre/-leitungen

Leistungsmerkmale:

Leistungsmerkmale Vorteile
Einfach zu installierendes Zweiteilesystem
  • Eignet sich für die meisten Gasleitungskonfigurationen
Flexible Heizelement-Ausführung
  • Gibt Ingenieuren die Flexibilität, das Wärmeprofil für jede Gasleitungsanwendung anzupassen
  • Ermöglicht schnelle Entwicklung von Prototypen zur Bestimmung der Energieverteilungsanforderungen für Prozessverbesserungen
Flexible Standard-Systemkomponenten
  • Eliminiert unnötige Lieferzeiten für anwendungsspezifische Konzipierungen

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Literatur zu diesem Thema

Technische Datenblätter (6)

Broschüren (4)

Qualitäts - Zertifikate (3)

Kataloge (3)

 

Bilder:

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